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產(chǎn)品特色
?低溫固化：固化溫度200°C
?低熱膨脹系數(shù) < 40 ppm/°C
?高顯影解析度
測試項目 | 單位 | WLPT01-B | |
曝光/顯影 /分辨率 | 曝光能量(Exposure dose) | mJ/cm2 | 150~200 |
顯影液 (Developer) | - | CPN(環(huán)戊酮)/PGMEA | |
分辨率(Resolution) 膜厚/via | um | 10/10 | |
固化條件 | 固化溫度(Cure temperature) | ℃ | 200 |
熱性質(zhì) | 玻璃轉(zhuǎn)移溫度(Tg) | ℃ | >200 |
熱膨脹系數(shù)(CTE) | ppm/K | <40 | |
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